News

12 November 2025

Molecules: Определение структур вращательно-колебательных полос в спектрах тетрафторида кремния с помощью точных ab initio расчетов. Олег Егоров, Michaël Rey

Molecules: Elucidation of the Ro-Vibrational Band Structures in the Silicon Tetrafluoride Spectra from Accurate Ab Initio Calculations. Oleg Egorov and Michaël Rey

Международный коллектив ученых представил комплексные глобальные списки спектральных линий для тетрафторида кремния (SiF4) — соединения, играющего значительную роль в технологических процессах и обладающего перспективами применения в материаловедении.
Представляя собой газ с высокой термической стабильностью, SiF4 является экологическим загрязнителем, массово образующимся в микроэлектронике при травлении кремнийсодержащих материалов. В то же время, он может рассматриваться как ключевой прекурсор для синтеза изотопно чистых полупроводников, что делает детальное изучение его свойств крайне актуальным.
В своей работе исследователи из Института оптики атмосферы им.В.Е. Зуева СО РАН (Томск) и Группы молекулярной спектрометрии (Реймс, Франция) опирались на современные методы квантовой химии и расчеты, учитывающие движение ядер. Чтобы верифицировать созданные модели, были проведены сравнения с эталонными экспериментальными данными Тихоокеанской северо-западной национальной лаборатории (PNNL), показавшие высокую степень соответствия.
Результаты исследования, опубликованные в высокорейтинговом международном журнале, закладывают фундамент для разработки методов мониторинга SiF4 в окружающей среде и создания новых типов полупроводниковых материалов.




 

Back