News

25 January 2024

Sensors: Проектирование, моделирование и экспериментальное исследование микрооптоэлектромеханического акселерометра Micro-G с оптическим туннельным измерительным преобразователем. Е. Барбин, Т. Нестеренко, А. Коледа, Е. Шестериков, И. Кулинич, А. Коколов, А. Перин

Sensors: The Design, Modeling and Experimental Investigation of a Micro-G Microoptoelectromechanical Accelerometer with an Optical Tunneling Measuring Transducer. E. Barbin, T. Nesterenko, A. Koleda, E. Shesterikov, I. Kulinich, A. Kokolov, A. Perin




Микроэлектромеханические акселерометры широко применяются во многих областях техники, таких как высокоточная навигация, мониторинг вибраций, мониторинг конструкций и транспортных средств, сейсморазведка, нефтяная промышленность. Микрооптоэлектромеханические (МОЭМ) акселерометры в последнее время становятся все более популярными, поскольку сочетают в себе преимущества оптических измерений и микроэлектромеханических систем. Они невосприимчивы к электромагнитным шумам, обладают высокой чувствительностью.
Томские ученые из ТУСУРа, ТПУ и Института оптики атмосферы им. В.Е. Зуева спроектировали, изготовили и протестировали МОЭМ акселерометр на основе туннельного эффекта. Акселерометр предложенной конструкции обладает высокой чувствительностью и малым собственным шумом  и может с успехом использоваться в сейсморазведке и в системах мониторинга критических конструкций.

Back