Sensors: Проектирование, моделирование и экспериментальное исследование микрооптоэлектромеханического акселерометра Micro-G с оптическим туннельным измерительным преобразователем. Е. Барбин, Т. Нестеренко, А. Коледа, Е. Шестериков, И. Кулинич, А. Коколов, А. Перин
Микроэлектромеханические акселерометры широко применяются во многих областях техники, таких как высокоточная навигация, мониторинг вибраций, мониторинг конструкций и транспортных средств, сейсморазведка, нефтяная промышленность. Микрооптоэлектромеханические (МОЭМ) акселерометры в последнее время становятся все более популярными, поскольку сочетают в себе преимущества оптических измерений и микроэлектромеханических систем. Они невосприимчивы к электромагнитным шумам, обладают высокой чувствительностью.
Томские ученые из ТУСУРа, ТПУ и Института оптики атмосферы им. В.Е. Зуева спроектировали, изготовили и протестировали МОЭМ акселерометр на основе туннельного эффекта. Акселерометр предложенной конструкции обладает высокой чувствительностью и малым собственным шумом и может с успехом использоваться в сейсморазведке и в системах мониторинга критических конструкций.